多段真空ポンプ

多段真空ポンプ

真空ポンプ

多段ポンプ

ポンプ

多段真空ポンプ

タービン駆動の多段真空ポンプの設計例です。
用途としては、分子レベル計測装置用の真空ポンプであり、小型軽量となるので移動体に積載して遠くまで持っていくことが出来ます。